首页> 外文OA文献 >Fabrication of polygonal nanoholes by localized mask-free wet anisotropic etching

【2h】

Fabrication of polygonal nanoholes by localized mask-free wet anisotropic etching

机译：通过局部无掩模湿法各向异性蚀刻制造多边形纳米孔

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Qi Chen; Yifan Wang; Hualv Zhang; Tao Deng; Zewen Liu;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2017
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Fabrication of polygonal nanoholes by localized mask-free wet anisotropic etching [J] . Qi Chen, Yifan Wang, Hualv Zhang, AIP Advances . 2017,第10期

机译：通过局部无掩模湿法各向异性蚀刻制备多边形纳米孔
2. Fabrication of polygonal nanoholes by localized mask-free wet anisotropic etching [J] . Qi Chen, Yifan Wang, Hualv Zhang, AIP Advances . 2017,第10期

机译：通过局部无掩模湿法各向异性蚀刻制备多边形纳米孔
3. Fabrication of size-tunable, periodic Si nanohole arrays by plasma modified nanosphere lithography and anisotropic wet etching [J] . S.L. Cheng, Y.H. Lin, S.W. Lee, Applied Surface Science . 2012,第期

机译：通过等离子改性纳米球光刻和各向异性湿法刻蚀制备尺寸可调的周期性Si纳米孔阵列
4. An improved anisotropic wet etching process for the fabrication of silicon mems structures using a single etching mask [C] . Pal P., Sato K., Gosalvez M.A., IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems . 2008

机译：一种改进的各向异性湿法蚀刻工艺，用于使用单个蚀刻掩模制造硅MEMS结构
5. Mechanism of wet anisotropic etching of silicon for nano-scale applications. [D] . Stateikina, Irina. 2007

机译：用于纳米级应用的硅湿各向异性刻蚀机理。
6. Effect of Isopropyl Alcohol Concentration and Etching Time on Wet Chemical Anisotropic Etching of Low-Resistivity Crystalline Silicon Wafer [O] . Eyad Abdur-Rahman, Ibrahim Alghoraibi, Hassan Alkurdi 2017

机译：异丙醇浓度和刻蚀时间对低电阻晶体硅晶片湿化学各向异性刻蚀的影响
7. Level set simulations of the anisotropic wet etching process for device fabrication in nanotechnologies [O] . Rađenović Branislav, Radmilović-Rađenović Marija 2010

机译：用于纳米技术中器件制造的各向异性湿法刻蚀工艺的水平集模拟

Fabrication of polygonal nanoholes by localized mask-free wet anisotropic etching

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅